材料表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術性能和使用功能，近年來隨著科技的發展，對各種材料表面精度也提出了越來越高得要求。目前，納米科技成為研究熱點，集成電路工藝加工的特征尺度進入亞微米，而光學顯微鏡已經滿足不了觀察更加微小物體的需求，這給科研人員提出了納米級表面的測量和表征的問題。

    掃描電子顯微鏡（SEM）的出現解決了這一問題，掃描電子顯微鏡是目前常見的用于表面形貌觀察的失效分析技術。具有高分辨率，較高的放大倍數；景深效果好，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；試樣制備簡單；配有X射線能譜儀裝置，可同時進行形貌觀察和微區成分分析。通過掃描電子顯微鏡觀察材料表面形貌，為研究樣品形態結構提供了便利，有助于監控產品質量，改善工藝。

 

    形貌觀察的主要內容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、及顆粒度的分布、物相的結構等

 

    材料、電子、冶金、航空、汽車、地學、醫學、機械加工、半導體制造、陶瓷品等。

 

 

金屬粉末顆粒粘結狀態

 

金屬材料斷口形貌特征

 

印制板焊盤鎳腐蝕形態

 

晶須形貌觀察