TOF-SIMS在表面異物分析中的應用
曾志衛,王文康
(深圳市美信檢測技術股份有限公司,深圳寶安,518108)
摘要:通過TOF-SIMS對某連接器表面出現白點的位置進行分析,定性的分析了OK位置和NG位置上表面10nm以內成分,為連接器產生白點的原因作出合理的推斷。
關鍵詞:TOF-SIMS,連接器,異物分析
1 案例背景
此連接器夏天存放的時候在樣品的表面會出現一些白點,而且白點一般從無到有,并會慢慢的長大。客戶要求對白點的成分進行分析,鑒于表面異物含量比較少,所以采用TOF-SIMS的分析手段。
圖1 樣品測試前外觀圖片
2 分析方法簡述
TOF-SIMS是一種有效的表面分析手段,能檢測H在內的所有元素及同位素,并能分析有機物的官能團。所以對樣品表面進行TOF-SIMS分析,NG位置和OK位置的測試結果如下圖所示,由譜圖可知,相比OK位置,NG位置含有較高的Cl和Br,這可能是引起連接器產生白點的主要原因。
圖2 樣品測試結果圖片
3 結論
由于NG位置含有較高含量的Cl和Br污染,在濕熱的環境下,吸潮形成電解液,產生電化學腐蝕,導致連接器表面產生白點,隨著腐蝕加深,白點慢慢擴散、變大。
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