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芯片鍵合斷裂失效分析

2022-07-21  瀏覽量:2639

 

引言

 

芯片失效主要分為電應(yīng)力失效、熱應(yīng)力失效和機(jī)械應(yīng)力失效幾種失效模式。芯片的斷裂與分層屬于隱形失效,往往在出廠前難以察覺。在生產(chǎn)、運(yùn)輸過程中受到的應(yīng)力都可能使芯片內(nèi)部發(fā)生斷裂與分層。本文以芯片封裝體開裂失效分析為例,詳細(xì)介紹其分析方法與失效機(jī)理。

 

一、案例背景

 

內(nèi)存芯片在PCBA上出現(xiàn)失效,表現(xiàn)為芯片不工作。現(xiàn)對(duì)失效PCBA(#1、#2)和正常PCBA(OK)進(jìn)行失效分析,查找其失效原因。

 

二、分析過程

 

1. 外觀檢查

為確認(rèn)失效PCBA上內(nèi)存芯片是否存在異常,去除PCBA上的屏蔽盒,觀察內(nèi)存芯片的外觀。

檢查結(jié)果:

(1)#1失效樣品內(nèi)存芯片正面絲印清晰,內(nèi)存芯片在解焊準(zhǔn)備測(cè)試時(shí)發(fā)現(xiàn)引腳有脫落的現(xiàn)象,脫落的部位殘留在PCBA上,內(nèi)存芯片側(cè)邊也發(fā)現(xiàn)有明顯破損的現(xiàn)象;

(2)#2失效樣品、OK樣品在拆除屏蔽盒后內(nèi)存芯片正面外觀絲印清晰,未發(fā)現(xiàn)明顯破損及裂紋。

 

失效內(nèi)存芯片外觀形貌

圖1. #1失效內(nèi)存芯片外觀形貌

 

內(nèi)存芯片外觀形貌

圖2. #2內(nèi)存芯片外觀形貌 圖3.OK內(nèi)存芯片外觀形貌

 

2. X-ray檢查

為確認(rèn)失效內(nèi)存芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否存在明顯異常,對(duì)#1、#2失效內(nèi)存芯片進(jìn)行X-ray檢查;

檢查結(jié)果顯示:#1失效樣品解焊下的內(nèi)存芯片引腳有明顯脫落現(xiàn)象,#2失效內(nèi)存芯片在板X-ray檢查未發(fā)現(xiàn)明顯異常。

 

失效內(nèi)存芯片X-ray檢查形貌

圖4. #1失效內(nèi)存芯片X-ray檢查形貌

 

失效內(nèi)存芯片X-ray檢查形貌

圖5. #2失效內(nèi)存芯片X-ray檢查形貌

 

3. 超聲掃描

前面分析可知:#1失效樣品內(nèi)存芯片有鍵合脫落的現(xiàn)象,推測(cè)失效樣品內(nèi)存芯片內(nèi)部可能存在分層現(xiàn)象,因此為確認(rèn)#2失效樣品內(nèi)存芯片鍵合是否存在明顯分層現(xiàn)象,對(duì)失效內(nèi)存芯片進(jìn)行超聲掃描。

掃描結(jié)果顯示:#2失效樣品內(nèi)存芯片鍵合部位存在分層現(xiàn)象。

 

失效樣品超聲掃描形貌

圖6. #2失效樣品超聲掃描形貌

 

4. SEM形貌觀察

為確認(rèn)#1失效樣品內(nèi)存芯片鍵合脫落的原因,對(duì)#1失效樣品進(jìn)行SEM形貌觀察。

形貌觀察發(fā)現(xiàn):#1失效樣品鍵合脫落部位發(fā)現(xiàn)有鍵合斷裂的現(xiàn)象,結(jié)合#1失效樣品側(cè)面封裝有破損,推測(cè)#1失效樣品鍵合脫落的原因?yàn)閮?nèi)部鍵合斷裂,鍵合與內(nèi)部芯片失去連接,而該位置封裝也存在破損,因此對(duì)該鍵合失去約束,因此出現(xiàn)了脫落現(xiàn)象。

 

失效樣品鍵合脫落部位SEM形貌

圖7. #1失效樣品鍵合脫落部位SEM形貌

 

5. 切片分析

前面分析可知:#1失效樣品鍵合脫落的原因?yàn)閮?nèi)部鍵合斷裂及封裝破損引起的且#2失效樣品內(nèi)存芯片該位置也存在分層現(xiàn)象,為確認(rèn)#2失效樣品是否也存在該現(xiàn)象,對(duì)#2失效樣品內(nèi)存芯片進(jìn)行切片分析,切片位置如圖8所示。

失效樣品切片位置

圖8. #2、#3失效樣品切片位置

 

切片結(jié)果顯示:#2失效樣品內(nèi)存芯片封裝體發(fā)現(xiàn)明顯裂紋,裂紋經(jīng)過鍵合部位,裂紋勢(shì)必引起鍵合受力最終導(dǎo)致斷裂,這與#1失效樣品鍵合斷裂的現(xiàn)象一致;通過對(duì)引腳位置的對(duì)比發(fā)現(xiàn),鍵合斷裂的引腳都為pin1引腳,而該引腳為芯片選擇輸入腳,該引腳斷裂,必導(dǎo)致芯片不能正常工作,這是芯片失效的原因,如圖9所示。

 

切片結(jié)果說明:內(nèi)存芯片失效原因?yàn)榉庋b體有裂紋,裂紋經(jīng)過鍵合部位使鍵合受力斷裂,最終導(dǎo)致內(nèi)存芯片不工作。

 

失效樣品內(nèi)存芯片切片形貌

圖9. #2失效樣品內(nèi)存芯片切片形貌

 

芯片引腳功能圖

圖10. 芯片引腳功能圖

 

6. 驗(yàn)證分析

根據(jù)上文分析可知#1、#2失效樣品都因封裝開裂導(dǎo)致的內(nèi)存芯片失效,為確認(rèn)功能正常樣品是否存在封裝開裂的現(xiàn)象,對(duì)OK樣品進(jìn)行切片分析。

結(jié)果顯示:OK樣品封裝有破損,破損位置與失效芯片一致,說明該位置封裝出現(xiàn)破損或裂紋為普遍現(xiàn)象,而破損的位置形貌判斷,該破損及裂紋為受外力導(dǎo)致的可能性較大。

 

樣品內(nèi)存芯片切片形貌

圖11. OK樣品內(nèi)存芯片切片形貌

 

三、總結(jié)分析

 

本案是關(guān)于內(nèi)存芯片在PCBA上功能失效,通過外觀檢查、X-ray檢查、超聲掃描、SEM形貌觀察、切片分析、驗(yàn)證分析等測(cè)試發(fā)現(xiàn):

 

(1)外觀檢查發(fā)現(xiàn)#1失效PCBA上內(nèi)存芯片脫落且側(cè)面有破損的現(xiàn)象,#2失效樣品正面絲印清晰,未發(fā)現(xiàn)其他異常;X-ray確認(rèn)了#1失效樣品內(nèi)存芯片鍵合脫落的現(xiàn)象,#2失效樣品在板X-ray檢查未發(fā)現(xiàn)明顯異常;超聲掃描發(fā)現(xiàn)#2失效樣品鍵合點(diǎn)有分層現(xiàn)象,結(jié)合#1失效樣品鍵合脫落,推測(cè)內(nèi)存芯片失效可能與鍵合不良有關(guān);

 

(2)通過對(duì)#1失效樣品鍵合脫落位置的SEM觀察發(fā)現(xiàn),#1失效樣品鍵合絲有斷裂現(xiàn)象;而通過對(duì)#2樣品切片分析發(fā)現(xiàn),鍵合絲斷裂的原因?yàn)榉庋b體有裂紋,裂紋經(jīng)過鍵合部位使鍵合受力斷裂,最終導(dǎo)致內(nèi)存芯片不工作;

 

(3)通過對(duì)OK樣品的切片發(fā)現(xiàn)內(nèi)存芯片封裝體有破損或裂紋為普遍現(xiàn)象,只是存在程度上的差異,從破損及裂紋的形貌上判斷應(yīng)為受應(yīng)力導(dǎo)致的。

 

綜上所述:內(nèi)存芯片不工作的原因?yàn)閮?nèi)部鍵合斷裂。

 

四、結(jié)論與建議

 

內(nèi)存芯片不工作的原因?yàn)閮?nèi)部鍵合斷裂,根本原因?yàn)閮?nèi)存芯片受應(yīng)力導(dǎo)致封裝體產(chǎn)生裂紋,裂紋經(jīng)過鍵合絲部位,對(duì)鍵合絲產(chǎn)生了拉力,最終導(dǎo)致了芯片不工作;從封裝體裂紋的位置上判斷,產(chǎn)生裂紋或破損的位置為芯片Pin1腳位置,因此判斷是該位置受力導(dǎo)致的。

 

建議:

排查芯片在運(yùn)輸、組裝過程中pin1引腳是否承受較大的應(yīng)力。

 

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